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CVD883亚洲城手机版本在使用前要做好哪些准备工作?

点击次数:389    发布时间:2022-06-13
  CVD883亚洲城手机版本是一款专业在沉底材料上生长高质量石墨烯、碳纳米管、碳化硅的专用设备,广泛应用于在半导体、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。
 

 

  CVD883亚洲城手机版本的使用方法:
  准备工作:
  1、设计升降温曲线,升温速率不得高于10℃/分钟,降温速率应低于15℃/分钟。
  2、清扫环境。
  3、每周开始使用时,检查机械泵油线处于标线以上,拆除两端盖,用吸尘器清洁刚玉炉管。
  4、将样品舟推入刚与管炉膛中部(恒温长度10cm)。
  5、塞上两块隔热炉塞,使第二个炉塞的末端与炉体侧面平齐。
  6、装上气炉法兰,确认密封垫落入槽中。
 
  开炉:
  1、开启总电源,风扇启动。
  2、开面板电源(顺时针转动Lock旋钮),启动面板。
  3、使仪表处于初始状态(即PV显示数值,SV闪烁显示Stop),此时若不处于该状态,则按向上键对仪表清零,使仪表只处在测显状态。
  4、按向左键1秒,进入温度设定状态,通过按向左键移动光标,按向上键和向下键来调节温度的设定数值。
  5、按回车键1秒,进入时间设定状态,通过按向左键移动光标,按向上键和向下键来调节时间的设定数值。
  6、程序后一步为时间状态,数值为-121,以结束全部程序,按回车键确定。
  7、按住向左键不放,然后按下回车键,则退出程序设置。
  8、按向左键进入程序设定状态,再连续按回车键检查设定的程序是否符合预定的升降温曲线。
  9、按住向左键不放,然后按回车键复位。
  10、按回车键2秒,进入基本参数设置,连续按回车键检查基本参数(n5=389.7,p=15,t=10,ctrl=3,opl=28)。
  11、按住向左键不放,然后按回车键,复位、
  12、按回车键1秒,检查是否为STEP1,即程序从步开始实行。
  13、按住向左键不放,然后按回车键,复位。
  14、按向下键2秒,SV显示Run运行程序。
  15、按绿色TurnOn键,启动加热电源,观察电流表、电压表:(若工作电流超过150A持续几秒钟,按下Turnoff键断开加热电源,检查功能参数的设定)。
  16、在使用惰性气体做工作气体时,升温过程中严密注意压力表,如压力高于0.08MPa,马上打开出口阀放气。
  17、在使用氢气做工作气体时,降温过程中要注意监视锥形瓶中出气的情况,如果有倒吸情况,应马上逆顺时针调节流量计旋钮,增加进气量。
  18、操编辑在升温、保温、降温过程中不得离开,如遇跳闸,要马上合闸供电。
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